The present thesis expands the topic of lithographic resolution improvement of poly(methyl methacrylate) (PMMA) as a positive tone electron-beam resist. The investigation used electron-beam lithography (EBL) to define ...

Incluye la investigación desarrollada para crear el primer microscopio de efecto túnel en Costa Rica. Este sistema se basa en la utilización de las propiedades de movimiento nanométrico de los materiales piezoeléctricos y ...